Цитология — Биология в вопросах и ответах

Исследование и анализ структур ФПЗС с применением сканирующего электронного микроскопа Tescan mira 3

Цель работы: выявление причин появления точечных дефектов на фотозоне ПЗС при помощи СЭМ.

Сканирующие электронные микроскопы широко используется во многих областях науки и промышленности, в том числе и в микроэлектронике. В данной работе электронный микроскоп Tescan Mira 3 применяется для анализа структур, которые не использовались для поставки заказчикам. Максимальное разрешение данного микроскопа с использованием датчика вторичных электронов, обеспечивающим топографический контраст, достигает 10 нм, что позволяет обнаруживать различные дефекты, проявляющиеся на структуре изготавливаемого ФПЗС.

Рассмотрим первый пример использования СЭМ для анализа и поиска причин появления дефектов. При измерении электрических параметров ФПЗС были обнаружены точечные дефекты. Их координаты на фотозоне были определены с точностью до пикселя, с помощью зондовых измерений. С помощью СЭМ Tescan Mira 3 на фотозоне было точно определено место, соответствующее координатам одного из дефектов, и получена фотография, изображенная на рис. 1а. На ней хорошо видно изменение рельефа на фотозоне. Для того чтобы определить причину появления данного дефекта, подложка с прибором, имеющим этот дефект, и его точные координаты были переданы специалистам в СПб ГЭТУ «ЛЭТИ» для выполнения реза в месте расположения дефекта с помощью FIB станции Helios D449. Общий вид выполненного реза показан на рис. 1б. Первоначально, рез был выполнен в месте, где изменение рельефа минимальное (рядом с краем дефекта), но уже наблюдается локальное изменение толщины слоя первого поликремния. Далее рез был продолжен вдоль шин поликремния. В результате было получено изображение, показанное на рис. 1в. На нём видна часть частицы, расположенной в слое первого поликремния и состоящей из двух слоёв. Толщина и контраст этих слоёв соответствуют толщине и контрасту расположенных ниже слоёв, формирующих подзатворный диэлектрик. Из этого был сделан вывод, что данная частица представляет собой «чешуйку» состоящую из слоёв подзатворного диэлектрика, которая оторвалась предположительно с периферийной части пластины. Рез был продолжен дальше вдоль шин поликремния до точки максимального рельефа, образованного обнаруженной частицей. На рисунке 1г, видно, что максимальные размеры частицы достигают по одной из координат 10 мкм, что превышает ширину поликремниевых шин и, в частности, первого слоя поликремния. Из рис. 1г можно сделать предположение, что обнаруженная частица оказалась на поверхности либо до, либо во время операции выращивания первого слоя поликристаллического кремния. Из-за того, что частица неплотно прилегала к поверхности, либо была привнесена во время технологической операции, рост поликремния осуществлялся со всех сторон частицы, вследствие чего она оказалась внутри выращенного слоя. В результате того, что размер данной частицы в одном из направлений превышает ширину шины первого слоя поликремния, на этапе травления верхний слой нитрида кремния, из которого состоит «чешуйка», маскирует ниже лежащий слой поликремния, в результате чего остаются невытравленные участки и возникают закоротки на первом слое поликремния.

Читайте также:  Перелом мыщелка плечевой кости медиального, закрытый

Органоиды, обнаруженные с помощью электронного микроскопа

Органоиды, или органеллы, – это специальные структуры клетки, которые выполняют жизненно важные для нее функции. Эти структуры подобны органам в человеческом организме, отсюда и взялось их название. Органоидов достаточно много, поэтому перечислим лишь некоторые из них: цитоплазма, митохондрии, аппарат Гольджи, лизосомы, вакуоли.

В данной статье мы рассмотрим органоиды, обнаруженные с помощью электронного микроскопа. У самого мощного светового микроскопа разрешающая способность объектива составляет примерно 200 нм. При этом сила разрешения определяется минимальным размером частицы, которую можно разглядеть в микроскоп. Именно поэтому до изобретения электронного микроскопа ряд клеточных органоидов оставался скрытым от глаз исследователей.

Какие органоиды можно увидеть в световой микроскоп? Только самые крупные, если можно так охарактеризовать мельчайшие частицы. Можно разглядеть пластиды и ядро клетки. С появлением электронного микроскопа представления ученых о клетке и ее органоидах существенно изменились, ведь его разрешающая способность достигает значения в 0,1 нм.

Какие органоиды обнаружены с помощью электронного микроскопа

Как выяснилось, у клетки есть и другие немаловажные элементы. В частности, это такие органеллы (постоянные компоненты клетки), как митохондрии и рибосомы, а также части структуры цитоплазмы (аппарат Гольджи, эндоплазматическая сеть). Самыми маленькими из обнаруженных электронным микроскопом органелл клетки считаются рибосомы.

Исследования клеточной структуры, проведенные с использованием электронного микроскопа, наглядно продемонстрировали, что клетку можно считать сложной системой, состоящей из отдельных органоидов, которые невидимы в световой микроскоп.

4glaza.ru
Февраль 2018

Использование материала полностью для общедоступной публикации на носителях информации и любых форматов запрещено. Разрешено упоминание статьи с активной ссылкой на сайт www.4glaza.ru.

Производитель оставляет за собой право вносить любые изменения в стоимость, модельный ряд и технические характеристики или прекращать производство изделия без предварительного уведомления.

После появления электронного микроскопа

Вопрос по биологии:

Читайте также:  Ребенок не наедается смесью - как утолить голод ребенку

А2. После появления электронного микроскопа ученые открыли в клетке: 1) ядро 2) рибосомы 3) вакуоль 4) хлоропласты

А3. Клетка растения от клетки животного вы отличите по: 1) присутствию клеточной мембраны 2) отсутствию ядра 3) присутствию хлоропластов 4) отсутствию митохондрий

А4. Митохондрии мышечной клетки можно увидеть: 1) в лупу 2) в школьный световой микроскоп 3) в электронный микроскоп 4) невооруженным глазом

А5. Клеточные структуры, образованные ДНК и белком, называются: 1) аппаратом Гольджи 2) хлоропластами 3) митохондриями 4) хромосомами

А6. Белок в клетке синтезируется: 1) на рибосомах 2) в ядре 3) в лизосомах 4) на гладкой ЭПС

А7. Переваривание пищевых частиц и удаление отмерших клеток происходит в организме с помощью: 1) аппарата Гольджи 2) эндоплазматической сети 3) лизосом 4) рибосом

А8. Безъядерными клетками у человека являются: 1) зрелые эритроциты 2) клетки печени 3) гаметы 4) нервные клетки

А9. Роль клеточной теории заключается в : 1) открытии органоидов клетки 2) открытии клетки 3) обобщении знаний о строении организмов 4) объяснении механизма фотосинтеза у растений

А10. Клеточная мембрана состоит в основном из: 1) белков и углеводов 2) липидов 3) белков и липидов 4) нуклеиновых кислот

А11. Впервые описал растительную клетку: 1) А. Левенгук 2) К. Тимирязев 3) Р. Гук 4) Ф. Реди

А12. В митохондриях происходит: 1) синтез углеводов 2) накопление АТФ 3) образование лизосом 4) фотосинтез

А13. Фотосинтезирующими органеллами могут быть: 1) лейкопласты и хромопласты 2) митохондрии и рибосомы 3) хлоропласты и хроматофоры 4) лизосомы и центриоли

А14. Запасное вещество животной клетки: 1) крахмал 2) глюкоза 3) гликоген 4) белки

А15. При работе с микроскопом ваш глаз смотрит в: 1) объектив 2) окуляр 3) тубус 4) зеркало

Читайте также:  Центр стоматологии и челюстно-лицевой хирургии Информационный каталог Обнинска и его окрестностей

А16.В эритроцитах лягушки по сравнению со зрелыми эритроцитами человека есть: 1) цитоплазма 2) гемоглобин 3) мембрана 4) ядра

А17.Клетки организма собаки образуют АТФ в: 1) рибосомах 2) эндоплазматической сети 3) митохондриях 4) ядре

А18. Фотосинтезирующий пигмент – это: 1) хлоропласт 2) хлорофилл 3) хроматофор 4) хроматин

А19. Какой органоид клетки по своей функции можно сравнить с кровеносной системой позвоночных животных? 1) клеточную мембрану 2) эндоплазматическую сеть 3) вакуоль 4) рибосому

А20. Генетическая информация у человека хранится в: 1) ядре 2) рибосомах 3) лизосомах 4) цитоплазме

А21. Органоиды – это: 1) постоянные функциональные части клетки 2) временные образовании клетки 3) выросты клетки 4) образования, состоящие из множества клеток

А22. Органоидом, в котором происходит синтез белка, является: 1) рибосома 2) эндоплазматическая сеть 3) клеточная мембрана 4) митохондрия

А23. Какая из клеточных структур имеется только у растений? 1) клеточная мембрана 2) вакуоль 3) хлоропласт 4) ядро

А24. Какие органоиды клетки участвуют в создании тургорного давления? 1) хлоропласты 2) вакуоли 3) лизосомы 4) рибосомы

В1. Выберите признаки, отличающие клетку животного от бактериальной клетки: 1) наследственный материал содержится в ядре 2) образует споры 3) митохондрий нет 4) есть клеточная стенка 5) содержит двойной набор хромосом 6) есть аппарат Гольджи

В2. Определите хронологическую последовательность биологических открытий: 1) клеточное ядро 2) световой микроскоп 3) клетка 4) электронный микроскоп 5) эндоплазматическая сеть

В3. Выберите процессы, в результате которых в клетке запасается энергия: 1) биосинтез белков 2) удвоение ДНК 3) фотосинтез 4) окисление питательных веществ 5) бескислородное дыхание 6) деление клетки

Ссылка на основную публикацию
Цитологическое исследование мазка шейки матки расшифровка
Анализы на цитологию Анализ на цитологию в гинекологии — это микроскопическое исследование биоматериала для выявления фоновых, предраковых, раковых заболеваний шейки...
Циркуляр для пирсинга описание процедуры, виды пирсинга, противопоказания
Пирсинг носа: что нужно знать? Решили проколоть нос? Уже выбираете в интернете сережку и салон, где смогут провести эту процедуру?...
Цирроз печени и гепатит причины, чем отличаются, прогноз
Гепатит и цирроз печени: одно и тоже или нет. Какой гепатит приводит к циррозу? Болезни органов пищеварения играют весомую роль...
Цитология — Биология в вопросах и ответах
Исследование и анализ структур ФПЗС с применением сканирующего электронного микроскопа Tescan mira 3 Цель работы: выявление причин появления точечных дефектов...
Adblock detector